لایه های نازک شیشه فلزی برپایه آهن به علت خواص مکانیکی و مقاومت به سایش عالی، مقاومت به خوردگی خوب وهزینه پایین جهت کاربرد به عنوان پوشش های محافظ بر روی محصولات الکترونیکی، کاربرد در ابزار برش مانند تیغ های جراحی و کاربردهای پزشکی، ذخیره ساز های مغناطیسی-نوری، سیستم های مکانیکی الکترونیکیمیکرو و نانو مانند میکرو عملگرها، سنسورها و میکروموتورها پیشنهاد شدند.با این حال جدی ترین چالش برای آنها در هنگام بکارگیری در کاربردهای فوق، سختی نسبتاً پایین و همچنین مقاومت به خوردگی حفره ای ضعیف در محیط های حاوی یون کلراست. در این پژوهش، لایه های نازک شیشه فلزی پایه آهن Fe 44 Cr 16 Mo 14 Co 7 C 10 Si 5 B 5 توسط روش های کندوپاش و پالس لیزر بر روی زیر لایه هافولاد زنگ نزن304 ، شیشه و ویفر سیلیکونی اعمال شدند. در روش کندوپاش مغناطیسی،تاثیر جریان کندوپاش (توان کندوپاش) و در روش پالس لیزر تاثیر تعداد پالس، انرژی لیزر و میدان مغناطیسی بر روی خواص فیلم ها بررسی شد. همچنین برای بررسی پایداریحرارتی لایه های نازک شیشه فلزی Fe 44 Cr 16 Mo 14 Co 7 C 10 Si 5 B 5 در جریان کندوپاش 3/0 آمپر، عملیات حرارتی در خلاء انجام پذیرفت.به منظور بررسی اثر فسفر بر روی خواص لایه های نازک شیشه فلزی پایه آهن، فیلم هایFe 46 Cr 23 Mo 14 Co 7 B 5 Si 5 و Fe 40 Cr 23 Mo 14 Co 7 P 6 B 5 Si 5 توسط روش کندوپاش تهیه شدند. در این پژوهش به منظور پیش بینی تشکیل ساختارآمورف از مدل مدیما توسعه یافته و فاکتور دلتا استفاده شد.بررسی کارایی مدل های ترمودینامیکی (مدل مدیما) و سینیتیکی (اختلاف سایزاتمی) توسط لایه نشانی همزمان تارگت های CoCrFeMnNi و Si به بحث گذاشته شد. تارگت های لایه نشانی با ترکیب های فوق الذکرتوسط فرآیند متالورژی پودر(آلیاژسازی مکانیکی و فرآیند زینتر به کمک قوس پلاسما) ساخته شدند. به منظور مشخصه یابی پلاسما و تاثیر جریان کندوپاش بر روی چگالی پلاسما از تکنیک طیف سنجی نشری اپتیکی استفاده شد. خواص ساختاری توسط XRD، TEM و DSC، مورفولوژی سطح،ترکیب شیمیایی و ضخامت لایه ها توسط SEM، زبری و توپوگرافی سطح توسط AFM ، خواص مکانیکی توسط نانوفرورونده،چقرمگی شکست به کمک دستگاه میکروسختی و نانوفرورونده، خواص سایشی توسط نانوخراش ودر نهایت رفتارخوردگی توسط آنالیز های الکتروشیمیایی پولاریزاسیون پتانسیوداینامیک، پتانسیو استاتیک و طیف سنجی امپدانس الکتروشیمیایی انجام پذیرفت. نتایج آنالیز فاز توسط اشعه ایکس نشان دهنده تشکیل ساختار آمورف و ایجاد لایه نازک شیشه فلزی در ترکیب های Fe 44 Cr 16 Mo 14 Co 7 C 10 Si 5 B 5 در تمامی جریان های کندوپاش، درترکیب هایFe 46 Cr 23 Mo 14 Co 7 B 5 Si 5 و Fe 40 Cr 23 Mo 14 Co 7 P 6 B 5 Si 5 و در ترکیب Fe 44 Cr 16 Mo 14 Co 7 C 10 Si 5 B 5 در روش لایه نشانی پالس لیزر در پالس ها و انرژی های مختلف لیزر شد که ساختار آمورف توسط میکروسکوپ الکترونی عبوری و الگوی های الکترونی ناحیه انتخابی تایید شد. مدل مدیمای توسعه یافته و فاکتور دلتا نیز برای تارگت های فوق الذکر، تمایل تشکیل ساختار آمورف وایجاد لایه نازک شیشه فلزی را پیش بینی کرده بود که به خوبی با نتایج عملی درتوافق بود. همچنین استفاده از مدل های فوق الذکر جهت پیش بینی ساختارهای آمورف ومحلول جامد برای ترکیب CoCrFeMnNiSi X در مقادیر مختلف Si بسیار موثر بود. استفاده از جریان های (توان) کندوپاش مختلف وافزودن فسفر در روش کندوپاش مغناطیسی و همچنین تغییر تعداد پالس، انرژی لیزر واستفاده از میدان مغناطیسی 220 میلی تسلا در روش پالس لیزر باعث تغییر در خواصساختاری مانند مورفولوژی سطح، میکروساختار سکشن عرضی و زبری سطح شدند. افزایش جریان (توان)کندوپاش از 1/0 به 3/0 آمپر در لایه های نازک شیشه فلزی باعث افزایش سختی و مدول یانگ به ترتیب تا1/004/11 و 6/2 242گیگا پاسکال، افزایش مقاومتپلاریزاسیون تا 88/2 مگا اهم در سانتی متر مربع، افزایش چقرمگی شکست تا MPa m 1/2 33/077/6و همچنین کاهش ضریباصطکاک تا 23/0 و در نهایت افزایش مقاومت به سایش شد. افزودن فسفر نیز باعث افزایش سختی و مدول یانگ به ترتیب تا 1/0 30/10 و6/9 98/326 گیگاپاسکال، افزایش چقرمگی شکست تا MPa m 1/2 43/0 62/6 و افزایش چشمگیر مقاومت پلاریزاسیون تا 157 مگا اهم در سانتی متر مربع شد. انجام عملیات حرارتی درخلاء لایه نازک شیشه فلزی پایه آهن Fe 44 Cr 16 Mo 14 Co 7 C 10 Si 5 B 5 تهیه شده توسط روش کندوپاشمغناطیسی در دمای 500واستفاده از میدان مغناطیسی 220 میلی تسلا در روش پالس لیزر باعث ایجاد ساختارآمورف/نانوکریستالی شد. مقاومت به خوردگی لایه های نازک شیشه فلزی پایه آهن با ساختار آمورف در مقایسه با این ساختار کامپوزیتی آمورف/نانوکریستالی بیشتر بود درصورتی که خواص مکانیکی ساختار آمورف/نانوساختار در لایه نازک پایه آهن تهیه شده با استفاده از روش کندوپاش بالاتر بود. کلمات کلیدی: رسوب گذاری از فاز بخار، لایه نازک شیشه هایفلزی پایه آهن، خواص مکانیکی، رفتار خوردگی، فولاد زنگ نزن 304