Skip to main content
SUPERVISOR
Jawad Zarkoob,Alireza Fadaei Tehrani
جواد زرکوب (استاد راهنما) علیرضا فدائی تهرانی (استاد راهنما)
 
STUDENT
Nima Nouri
نیما نوری

FACULTY - DEPARTMENT

دانشکده مهندسی مکانیک
DEGREE
Master of Science (MSc)
YEAR
1385
The photochemical machining is the process of metal removal in which light and photo sensitive mask are used to select the intended areas and to apply machining. To develop the transistors and integrated circuits (IC) and parts in Micro-Nano dimensions, precision chemical machining technology is used. Photo mask pattern in chemical machining method and negative film in photochemical machining method are used for projecting an object image on the work piece surface. These two methods are expensive as they require extra cost to develop photo mask pattern and negative film for each work piece. To overcome these problems and to reduce the cost, a new method is presented in which the image is projected on the work piece without using a photo mask pattern or a negative film. In this optic system, ultra violet (UV) light is produced and projected and after paralleling by polarized lenses, the light is passing through a particular computerized image processed plate. Therefore, the imaged UV light is projected on the work piece surface after passing special optical lenses. This particular optic system is connected to a computer, through which the displayed image on the computer monitor is transferred to the optic system. Finally, high patterning resolution around 4 micrometers is obtained by using this optic system as a photomask. Keywords Photochemical Machining, Micro-Nano machining, photo mask, optic system
: ماشینکاری شیمیایی فرآیند براده برداری فلزات است که در آن با استفاده از نور و ماسک حساس به نور مناطق مورد نظر انتخاب شده و ماشینکاری می شود. برای ساختن ترانزیستورها و مدارهای مجتمع(IC) و قطعاتی در ابعاد میکرو و نانو از تکنولوژی ماشینکاری شیمیایی دقیق استفاده می شود. در روش ماشینکاری شیمیایی از شابلون و در روش فتوشیمایی از فیلم نگاتیو برای تصویرکردن تصویر طرح بر روی سطح قطعه کار استفاده می شود. در این دو روش به ازای تغییر قطعه کار می بایست شابلون و یا فیلم نگاتیو مخصوص همان قطعه کار نیز ساخته شود, بنابراین نیازمند صرف هزینه بالا برای ساخت شابلون برای هرقطعه کار می باشد. برای برطرف کردن این مشکلات و برای کاهش قیمت, یک روش جدیدی در این پایان نامه ارائه شده است که در آن تصویر بر روی سطح کار بدون استفاده از شابلون و یا فیلم نگاتیو نقش می بندد. در این سیستم اپتیکی, نور ماورابنفش(UV), تولید شده و بعد از گذشتن از لنزهای موازی کننده, از صفحه پردازش تصویر گذر می کند. سپس, تصویر مورد نظر بعد از گذشتن از لنزهای اپتیکی ویژه بر روی سطح قطعه کار می افتد. این سیستم اپتیکی مستقیما از رایانه فرمان می گیرد, به نحوی که تصویر نشان داده شده بر روی مانیتور رایانه عینا به سیستم اپتیکی منتقل یافته و توسط آن به تصویر کشیده می شود. در انتها دقتی حدود 4 میکروکتر به وسیله استفاده از این سیستم اپتیکی به دست آمد. کلمات کلیدی: ماشینکاری فتوشیمیایی, میکرو-نانو ماشینکاری, ماسک حساس به نور, سیستم اپتیکی

ارتقاء امنیت وب با وف بومی