Skip to main content
SUPERVISOR
Fatallah Karimzadeh,Alireza Fadaei Tehrani
فتح اله کریم زاده (استاد مشاور) علیرضا فدائی تهرانی (استاد راهنما)
 
STUDENT
Ali Saeidi
علی سعیدی

FACULTY - DEPARTMENT

دانشکده مهندسی مکانیک
DEGREE
Master of Science (MSc)
YEAR
1387
In the world we live in, the use of micro-/nano- scale products is seen globally and in most cases further miniaturization of these devices is inevitable. These products are present in almost every aspect of our life including electronical devices, computers and laptops, vehicles and automobiles, aerospace devices, medical devices and many more fields. Thereby having full knowledge of this sophisticated technology is essential for the industry and academies of any advanced country. In Iran, a vast technological gap can be sensed towards this technology and there is great potential for building micro-/nano- research centers and fabrication facilities. The first step towards this new industrial revolution, the nano revolution, is gaining the knowledge of manufacturing and fabrication of miniaturized devices. The main objective of this project is to study and review the principles and fundamentals of micro-nano manufacturing techniques in an academic and industrial research and to present them in a comprehensive overview; and also to outline the devices and instruments needed for micro-/nano- manufacturing. The industry of micro-/nano- fabrication is one of the main branches of nanotechnology. This industry is a wide field of research and a very broad technology; but the top-down approaches of micro-/nano- fabrication can be classified to three main techniques: Nanolithography, laser micromachining and tool-based micromachining. Nanolithography is the technology to selectively patten substrates of almost any material using chemical or plasma etching. Laser micromachining uses laser beam to pattern substrates and mostly ultrashort pulse lasers and excimer lasers are used for micromachining. Tool based micromachining uses high-speed, high precision CNC machines and micro-tools to create 3D structures in most metallic materials. The production and manufacturing of many miniaturized devices is highly dependant on having the knowledge of this new technology. The first and most essential step to independence in micro-nano manufacturing is the cnstruction of experimental laboratories for practical experiments and industrial production. In this project, other than presenting the essential techniques for micro-nano fabrication, a high-tech research center capable of producing a wide range and variety of micro-nano products has been designed and its establishment has been proposed. The construction of this research center can have severe effects on the improvement of nanotechnology in Iran and raise the capability of research and production in this field. Key Words Micro-/nano- devices, Nanotechnology, Nanolithography, Laser, Tool-based micromachining, Etching
امروزه استفاده از محصولات و تجهیزات در مقیاس نانو و میکرو در تمامی نقاط جهان قابل مشاهده است. وجود چنین تجهیزاتی در بسیاری از وسائل مانند لوازم الکتریکی، کامپیوترها، وسایل نقلیه، تجهیزات هوا و فضا، وسایل پزشکی و بسیاری دیگر از حیطه ها قابل مشاهده است.در کشور ایران جای خالی این تکنولوژی محسوس بوده و پتانسیل ایجاد مراکز تولید و آزمایشگاه های تجهیزات میکرو-نانو وجود دارد. در این پروژه سعی شده است شیوه های تولید تجیزات میکرو-نانو بصورت علمی-صنعتی مورد بررسی قرارگرفته و در یک مجموعه ارائه شود. همچنین تجهیزات مورد نیاز برای ساخت قطعات میکرو-نانو نیز مورد بررسی قرار گرفته اند و یک مرکز پژوهشی کامل نیز طراحی و ارائه شده است.صنعت تولید میکرو-نانو، یکی از شاخه های اصلی علم نانوتکنولوژی می باشد. این صنعت بسیار گسترده بوده و محدود به چند روش نمی شود. اما میتوان شیوه های تولید بالا به پایین را به صورت کلی به سه دسته تقسیم نمود که عبارتند از نانولیتوگرافی، میکروماشینکاری به کمک لیزر و میکروماشینکاری ابزاری. در نانولیتوگرافی از شکل دهی انتخابی به کمک ماسک با استفاده از اچینگ خشک(پلاسما یا بخار)یا تر (محلول شیمیایی) برای الگودهی به زیرلایهاستفاده میشود. با اینکه این شیوه نسبتا قدیمی بوده و جزو اولین شیوه های تولید تجهیزات میکرو و یا تجهیزات الکترونیکی می باشد، اما امروزه علاوه بر کاربرد زیاد در صنعت هنوز در دست توسعه و تحقیق می باشد.از زمان ساخت لیزر، بسیاری از محققین سعی داشته اند از پرتوی متمرکز آن برای ساخت و تولید استفاده کنند. در این میان محققین زمینه تولید میکرو-نانو نیز سعی بر بکارگیری پرتوی لیزر برای ساخت تجهیزات میکرو-نانو داشته اند.ماشینکاری ابزاری یک شیوه بسیار قدیمی برای شکل دهی مواد، مخصوصا فلزات می باشد. این شیوه شکل دهی از زمان پیدایش بسیار مورد تحقیق قرار گرفته و تکنیک ها، ماشین آلات و ابزارهای ماشینکاری سرعت بالای توسعه داده شده توجه بسیاری از محققین میکرو-نانو را به خود جلب کرده است. تولید بسیاری از تجهیزات و وسایل با ابعادهای بسیار کوچک منوط به داشتن آگاهی به شیوه های تولید می باشد. برای اینکه بتوان شیوه های تولید میکرو-نانو را در کشور پیاده کرد علاوه بر آشنایی با این شیوه ها، آگاهی از آخرین پیشرفت ها و انجام آزمایش های عملی در آزمایشگاه های مجهز یک امر ضروری می باشد. برای استقلال تولید در زمینه تجهیزات میکرو-نانو، اولین مرحله پس از تحقیقات، راه اندازی آزمایشگاه های مجهز برای پژوهش می باشد. در این پروژه علاوه بر بررسی شیوه های تولید قطعات میکرو-نانو، تجهیزات و وسایل مورد نیاز برای تولید نیز بررسی شده و پیشنهاد راه اندازی مرکز پزوهشی-تولیدی به صورت دقیق نیز ارائه شده است. این مرکز پیشنهادی در ایران بدون نظیر بوده و قابلیت تولید بسیاری از قطعات مورد نیاز صنعت کشور و همچنین تحقیق و پژوهش در راستای توسعه شیوه های تولید و تجهیزات میکرو-نانو را دارا می باشد.کلمات کلیدی : تجهیزات میکرو-نانو، نانوتکنولوژی، نانولیتوگرافی، لیزر، میکروماشینکاری ابزاری، اچینگ.

ارتقاء امنیت وب با وف بومی