Skip to main content
SUPERVISOR
Mohamad Jan Nesari,Hossien Ahmadvand
محمد جان نثاری لادانی (استاد مشاور) حسین احمدوند (استاد راهنما)
 
STUDENT
Mohadeseh Akouchakiyan
محدثه اکوچکیان

FACULTY - DEPARTMENT

دانشکده فیزیک
DEGREE
Master of Science (MSc)
YEAR
1394

TITLE

Design and fabrication of dichroic plate beamsplitter coating in two wavelength regions of infrared and measurment of the residual stress of coating
Beamsplitter coating is one of the optical devices which is based on interference phenomenon. The performance of this coating is separation incident beam into two transmitting beam and reflecting beam in optical system. In this research, design and fabrication of three multi-layer dichroic beamsplitter coating has been studied that can be used to separate 3.5-5 um (in reflectance channel) and 8-12um (in transmittance channel) wavelength regions with a combination of low index materials and high index materials for thermal imager camera. Considering the traarency of selected materials in desired wavelengths, Ge/IR-F625, Ge/BaF 2 and PbTe/IR-F625 were choosen for high and low index materials as first, second and third designs of dichroic beamsplitter, respectively. Design of multilayer structure was performed based on quarter wave stack. Design and optimization of coating structure was performed by the Essential macleod software. Tooling factor of material that used in fabrication of this coatings was measured. The amount of measured tooling factor for single layers of Ge, PbTe, IR-F625 and BaF 2 is 0.93, 0.94,0.95 and 0.96, respectively. Deposition was performed by physical vapor deposition technique in a vacuum chamber by using electron gun and thermal boat. The bonding layer Y 2 O 3 was used to coating stability and increase adhesion of interfaces layers to each other and to the substrate. The IR reflection spectra was measured with Fourier transform infrared spectroscopy. Environmental analysis such as abrasion, adherence, temperature and humidity were performed on the coating. First coating was not approved due to shelling, The second coating was not approved due to lack of favorable traarency and dispersion in the wavelength regions of interest. Against third coating is approved due to favorable traarency and passing environmental tests successfully without change in structure as the final coating in accordance with military and optical standards. The effects of factors such as temperature change and incident angle change were also studied in the coating. Because importance of residual stress in thin film coating, in this research was measured exprimental residual stress with measurment of radius curvature of substrate and semi-exprimental residual stress with macleod software for second and third dichroic beamsplitter. Results indicated that there is a good fitness between the results of these two methods values. For structural analysis, the final multilayer coating was analyzed with field emission Scanning Electron Microscopy cross section, atomic force microscopy and nano indentation and Fourier transform infrared spectroscopy.
پوشش پرتوشکاف یکی از ابزارهای نوری است که بر اساس پدیده تداخل بنا شده است. عملکرد این پوشش ها در سامانه های نوری تفکیک پرتو فرودی به دو پرتو عبوری و بازتابی است. در این پژوهش طراحی و ساخت سه پوشش پرتوشکاف دورنگ نما تیغه ای چند لایه با ترکیبی از مواد با ضریب شکست پایین و بالا با بیشینه ی بازتاب در بازه ی طول موجی 5-5/3 میکرومتر و بیشینه ی عبور در بازه ی طول موجی12-8 میکرومتر به جهت استفاده در دوربین های تصویربرداری حرارتی مورد بررسی قرارگرفته است. با در نظر گرفتن شفافیت مواد انتخابی در بازه hy;های طول موجی مد نظر، در پوشش پرتوشکاف دورنگ نما اول ژرمانیوم و ایتریوم باریم فلوراید، در پوشش دوم ژرمانیوم و باریوم فلوراید و در پوشش سوم سرب تلورید و ایتریوم باریم فلوراید به ترتیب به عنوان مواد با ضریب شکست بالاو پایین انتخاب شدند. طراحی ساختار این پوشش بر اساس ساختار چارک موج لایه مجزا انجام پذیرفت. طراحی و بهینه سازی ساختار این پوشش ها توسط نرم افزار طراحی لایه های نازک مکلئود انجام پذیرفت. در قدم اول ضرایب شکل دهی مواد مورد استفاده در ساخت پوشش های پرتوشکاف محاسبه شد. مقدار ضریب شکل دهی برای تک لایه های ژرمانیوم، سرب تلورید، ایتریوم باریم فلوراید و باریم فلوراید به ترتیب 93/0، 94/0، 95/ و 96/0 محاسبه شد. ساخت پوشش ها توسط روش لایه نشانی تبخیر فیزیکی و توسط بوته ی حرارتی و تفنگ الکترونی انجام پذیرفت. به جهت استحکام و پایداری پوشش و چسبندگی لایه ها به یکدیگر و به بستره، از یک لایه واسط اکسید ایتریوم با ضخامت نانومتری در میان لایه ها استفاده شد. پس از ساخت، طیف بازتاب پوشش ها با استفاده از طیف سنج تبدیل فوریه مادون قرمز مورد مطالعه قرار گرفت و برای بررسی پایداری محیطی تحت آزمون های سایش، چسبندگی، دما، رطوبت، مه نمکی و شوک حرارتی قرارگرفتند. پوشش اول به علت پوسته شدن در آزمون چسبندگی و پوشش دوم به جهت عدم برخورداری از شفافیت مطلوب و در نتیجه پراکندگی در ناحیه های طیفی مورد تایید واقع نشد. در مقابل پوشش سوم به جهت برخورداری از شفافیت مطلوب و همچنین گذراندن آزمون های محیطی با موفقیت و بدون ایجاد تغییر در ساختار، به عنوان قطعه نهایی مطابق با استانداردهای اپتیکی و نظامی مورد تایید قرار گرفت. تاثیر عواملی همچون تغییر دما و زاویه ی فرودی نیز در پوشش نهایی مورد بررسی قرارگرفت. به دلیل اهمیت تنش پسماند در پوشش های لایه نازک، در این پژوهش به اندازه گیری و محاسبه ی تنش پسماند این مجموعه ی چند لایه به روش تجربی از طریق رابطه ی استونی از طریق اندازه گیری شعاع انحناء سطح زیرلایه و روش نیمه تجربی توسط نرم افزار طراحی لایه های نازک مکلئود برای پوشش پرتوشکاف دورنگ نما اول و پوشش سوم پرداخته شد. نتایج حاکی از تطابق قابل قبول این دو روش محاسبه و اندازه گیری می باشد. به منظور بررسی های ساختاری، پوشش چند لایه ی نهایی تحت آزمون های میکروسکوپ روبشی گسیل میدانی از سطح مقطع پوشش، میکروسکوپ نیروی اتمی، نانوسختی سنجی و طیف سنجی تبدیل فوریه ی مادون قرمز قرار گرفت.

ارتقاء امنیت وب با وف بومی