تحلیل ویژگیها ، ساختار داخلی و کارکرد حسگرهای نوری و تماسی ساخته شده با فناوری MEMS SUPERVISOR Mehdi Salmani tehrani مهدی سلمانی تهرانی (استاد راهنما) STUDENT Amir Ghanbari Mardasi امیر قنبری مرداسی FACULTY - DEPARTMENT دانشکده مهندسی مکانیک DEGREE Bachelor of Science (B.Sc) YEAR 1389 TITLE تحلیل ویژگیها ، ساختار داخلی و کارکرد حسگرهای نوری و تماسی ساخته شده با فناوری MEMS